三菱重工工作機械(滋賀県栗東市)は、スケール部が0.4mmと薄型の精密位置検出器「MPFA」シリーズを発売した(図、ニュースリリース)。工作機械向けの直線位置検出器「MPスケール」の特徴を引き継ぎ、0.1μmの分解能と30m/minの応答速度を実現している。高速で移動するリニアモーター付きステージの位置検出に向く。

図:「MPFA」シリーズ
(出所:三菱重工工作機械)
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 スケール部に軽くて巻き取り可能なテープ式を採用して厚さを従来の10mm程度から0.4mmに抑え、リニアモーターのステージ(台)の中に入り込める設計とした。ヘッドについても50×21×12mmと小型化している。直線精度は±15μm/m、ストロークは最大9950mm。

 ヘッドには、正常時は緑色に、スケールとヘッドのすき間が広いときは赤色に点灯するLEDを搭載する。パソコンに接続すれば、スケールとヘッドのすき間の大きさと現在位置を数値で確認できるので、組み立てや保守の際に調整しやすい。

 スケールは、任意の長さで切断可能。1つのスケールに複数のヘッドを搭載でき、インターフェース仕様の異なるヘッドも同時に使える。

 MPスケールと同じく電磁誘導式で、ゴミや油、結露への耐久性が高い。固定部と可動部を非接触構造とすることで経年変化による精度の劣化を抑えており、長期にわたって高精度な位置検出が可能だとする。

 同社によると、より高速・高精度な制御が求められる中、リニアモーターと精密位置検出器を組み合わせた駆動方式の需要が高まりつつあるという。新シリーズは、こうしたニーズに応えるもの。搬送装置や移動ロボットの他、半導体・液晶製造装置や食品機械など向けに拡販していく。