ニコンインステックは、半導体パッケージや電子部品、機械部品などの精密な被検物を対象としたCNC(Computer Numerical Control)画像測定システム「NEXIV VMZ-H3030」を2018年10月1日に発売する(ニュースリリース)。

CNC画像測定システム「NEXIV VMZ-H3030」
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 CNC画像測定システムは、CCDカメラで得た画像から被検物の寸法や形状を非接触で自動測定する。精度よく寸法や形状を測定するには、被検物の端を正確に検出するとともに、端の座標を正しくとらえる必要がある。ニコンは、CNC画像測定システム「NEXIVシリーズ」を展開しており、今回の製品は「NEXIV VMZ-Rシリーズ」(関連記事)の基本性能を踏襲したシリーズ最高精度の測定を実現する製品だという。

 高精度リニアエンコーダーと精密動作ステージにより、高い測定精度を実現したうえ、画像転送速度が30フレーム/秒と速く、光量調整時間も短いため短時間での測定が可能とする。また、高性能TTL(Through The Lens)レーザー・オート・フォーカスにより、0.1mmレベルの透明サンプルの厚みを検出できる。さらに、リング照明の角度調整機構により、複雑な形状をしたエッジの検出機能を向上させたという。機械部品やモールド部品、高密度プリント基板、半導体の300mmウエハーまで、多様な測定ニーズに対応するとしている。ストロークは、X、Y、Z軸がそれぞれ300mm、300mm、150mm。価格は2200万円(税別)から。