産業用ロボットや工作機械に向けた半導体磁気抵抗素子
産業用ロボットや工作機械に向けた半導体磁気抵抗素子
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 旭化成エレクトロニクスは、産業用ロボットや工作機械に向けた半導体磁気抵抗素子(SMRE:Semiconductor MagnetoResistive Element)「MS0083」を発売した(ニュースリリース)。歯車の大きさを表すモジュールmが0.8の歯車との組み合わせに向ける。直径(φ)が60mm〜100mmの歯車に最適で、出力信号をA+/A−と、B+/B−の差動形式にすることで同相雑音を低減できる。同社によると、「温度特性が極めて良好で素子間ばらつきが小さいため、A-D変換器による電気内挿でも20ビットの分解能を超える回転角検出が可能」という。

 感磁部材料としてSn(スズ)をドープしたInSb(インジウムアンチモン)単結晶薄膜を用いた半導体磁気抵抗素子である。内蔵した素子数は1個。入力抵抗は、最小値が290Ωで、最大値が480Ωである。入力抵抗による磁気抵抗変化率は130%(最小値)。出力信号は、正弦波もしくは余弦波のアナログ電圧である。パッケージは6端子SON。ピッチは2.624mm。動作温度範囲は−40〜+125℃。価格は明らかにしていない。