資料の紹介

 マスフローコントローラーは、気体や液体といった流体の流量を計測し、流量制御を行う。製造過程でガスの高精度な流量制御が必要となる半導体や液晶、電子部品、自動車、薬品などの製造現場をはじめ、工場設備や実験設備、環境計測や分析機器などで幅広く利用されている。

 このように様々な分野で使われるマスフローコントローラーには、幅広い要件への対応が求められる。高精度な流量制御に加え、流量変更に素早く対応できる応答性や、低圧で供給する場合にも圧力損失を可能な限り抑える構造。加えて、現在の制御状態を一目で把握できる表示機能なども必要となる。

 本資料では、高速応答、低圧損、高精度、制御状態が一目でわかる表示と、四拍子そろった機能を提供するデジタルマスフローコントローラーを紹介する。工業炉や薬品製造、機械・金属加工現場、排出ガス処理などの現場で発生していた様々な課題と、このデジタルマスフローコントローラーを使ったそれらの解決法など、具体的な導入検討に役立つ用例も紹介する。

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