資料の紹介

 流れる液体の量を正確に測定する流量計測技術。薬液や溶剤、接着剤などの液体を使う製造工程において不可欠な技術だ。これまで1分間に数ミリ~数十ミリリットルの微量な流量を測定できる流量計はあまりなかったが、微小流量計測のニーズの高まりから、さまざまな手法を用いた微小流量計が市場に流通するようになってきた。

 ニーズの背景には、例えば製造プロセスの高度化により、製造時に使用する薬液などの使用量が減少したことで、わずかな流量の差が製造品質に大きな影響を及ぼすようになってきたことがある。また、高価な材料を使用する際に、量を厳密に計量して費用削減を図りたいという要望も増えている。

 本資料では、微小流量計測の最新動向、代表的な方式とその仕組みやメリット・デメリット、微小流量計を選定する際に押さえるべき4つのポイントについて解説する。最近注目されている、振動や温度変化の影響を受けにくい熱式微小液体流量計についても紹介する。

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