資料の紹介
最先端の材料分析では、目で見える大きさからサブナノメートルまで、スケールが大きく異なる領域の構造や特性、プロセスを理解することが求められる。マルチスケール解析と呼ばれる技術である。そのためには、多岐にわたるイメージング技術や解析技術を活用し、優れた分析結果を得るための作業を実行しなければならない。
必要な作業ステップは大きく4つある。（1）大型材料の深層部のミクロに分析したい関心領域を非破壊イメージングによって特定、（2）関心領域を見つけるためレーザーによって材料の一部を除去、（3）関心領域を高精度に加工・研磨した詳細解析用の試料を作製、（4）高度なツールやソフトウエアによって正確に解析、の4つである。
本資料では、これらの作業を実現し、大型材料内の関心領域を特定し正確に分析する方法・技術について詳しく解説する。さらに、解析の事例も紹介する。触媒システムおよびナノ粒子、ギア内部の金属中の介在物、岩石試料中の特異な鉱物、電子部品の不良部位を解析した、豊富な画像データを見ることができる。
